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无尘室氮气柜的结构 组成及具体操作流程

更新时间:2024-03-01      点击次数:205
  无尘室氮气柜是一种用于存储和管理敏感电子元件、半导体晶圆、精密仪器等物品的设备,能够提供一个无尘且低湿度的环境,以防止物品受到污染或氧化。这种设备通常使用纯净的氮气来置换柜内的空气中的氧气和水分,从而保持内部的环境稳定。工作原理基于氮气的特性,即不活跃、不易与其他物质反应。通过向柜内充入高纯度的氮气,可以显著降低柜内的氧气和水分含量,从而防止氧化和湿气对敏感物品的影响。同时,无尘室内的环境控制确保了柜外的污染物不会进入柜内,保护了内部的物品。
 

 

  无尘室氮气柜的主要组成部分:
  1.密封柜体:提供一个封闭的空间,以保持内部的无尘环境。
  2.氮气供应系统:包括氮气瓶或氮气生成器,以及调节和输送氮气的管道和阀门。
  3.控制系统:用于监测和调节柜内的温湿度、氮气流量和压力等参数。
  4.HEPA过滤器:过滤进入柜内的空气中的微粒,确保无尘环境。
  5.除湿装置:进一步降低柜内的湿度,防止潮湿对物品的影响。
  操作流程:
  1.将需要存储的物品放入氮气柜内。
  2.关闭柜门并确保密封良好。
  3.启动氮气供应系统,向柜内充入高纯度的氮气。
  4.通过控制系统监测柜内的氧气和水分含量,确保达到所需的环境标准。
  5.定期检查氮气柜的性能,包括密封性、过滤器的清洁度和氮气供应系统的运行状况。
  无尘室氮气柜的维护与保养:
  1.定期更换或清洁HEPA过滤器,确保无尘环境。
  2.检查氮气供应系统,确保氮气的连续和稳定供应。
  3.校准控制系统,确保准确的环境监测和调节。
  4.检查柜体的密封性,防止外部污染物进入。
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