光刻胶烘箱的典型结构

1. 加热系统

加热方式：

控温元件：

2. 送风系统

层流设计：垂直单向流（Downflow）确保洁净度，风速0.3~0.5 m/s。

风量调节：变频风机按工艺阶段调整风量（如升温阶段高风量，保温阶段低风量）。

3. 腔体与载具

材质：不锈钢316L或铝合金（表面阳极氧化），耐化学腐蚀。

载具类型：

4. 控制系统

多段程序控温：支持10~20段温度曲线（如前烘：90℃/60s → 110℃/120s）。

数据追溯：记录温度、氧含量、压力等参数，符合SEMI S2/S8标准。