预热烘箱，爱义信 HMDS烘箱 HMDS预处理烘箱HMDS涂到样品表面后，经烘箱加温可生成硅氧烷为主的化合物，将样品表面由亲水性变为疏水性，此疏水性能够很好的与光刻胶结合，增加了样品表面与光刻胶的黏附作用

HMDS真空烘箱HMDS涂到样品表面后，经烘箱加温可生成硅氧烷为主的化合物，将样品表面由亲水性变为疏水性，此疏水性能够很好的与光刻胶结合，增加了样品表面与光刻胶的黏附作用

晶圆烘箱，HMDS预处理烘箱HMDS涂到样品表面后，经烘箱加温可生成硅氧烷为主的化合物，将样品表面由亲水性变为疏水性，此疏水性能够很好的与光刻胶结合，增加了样品表面与光刻胶的黏附作用。