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洁净室氮气柜

简要描述:洁净室氮气柜适合半导体前端单晶硅制作过程中硅片及晶圆盒的存放,防止硅片的返颗粒,返雾现象; 由于普通的干燥存储柜或者氮气柜设计都为全封闭环境,且无自净功能,故内部容易积聚大量灰尘,而这些灰尘极可能粘附在存储品上。洁净柜则适合存放需要避免灰尘污染的物品。

  • 产品型号:CIN
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-05-14
  • 访  问  量:278

详细介绍

品牌爱义信产地类别国产
应用领域化工,生物产业,电子,汽车,电气氮气节约装置自动切断和打开
多点供气系统氮气分布均匀

洁净室氮气柜优势:


产品特性:

1、洁净室氮气柜具有4英寸超高亮数码管显示,可视距离30米,可加装氮气节约控制系统,可加装报警系统。

2、无尘风机——采用进口无尘室专用FFU风机,镀铝锌板材质,铝合金叶轮,风速0.3-0.45m/s,噪音<=55dB。

3、双面护网高效过滤器——过滤效率高99.99%@0.3um。

4、模组化设计,温湿度显示器、控制系统、除尘系统及除静电系统均能快速更换, 保养及维修简便,大大提升维护效率。

技术参数:

材质:双镜面304不锈钢

外尺寸: 1300W*1836H*800Dmm

内尺寸: 1253W*1110H*650Dmm

除湿等级: 相对湿度可达到5%Rh以下 (配合充氮气)

洁净等级: ISO Class 2(百级) ISO Class 3(千级)

湿度显示范围: 0.1%RH-99.9%RH

湿度显示范围: -40℃-70.0℃(-9.9℃以下显示不带小数点)

温湿度显示器精度: 相对湿度±3%Rh,温度±1℃

LED超高亮数码显示,传感器采用瑞士原装,温湿度独立显示

湿度可单点设定且具有记忆功能,断电后无需再设定

湿度显示范围0.1%~99.9%RH,温度显示范围-9.9℃~-99.9℃。显示精度:温度±1℃;湿±3%RH

故障自动识别追踪功能

数码显示休眠功能

湿度超标报警功能(选购),上限下限可以根据需求设定

湿度超标报警延时功能(选购),延时可以根据需求设定

显示校验到期提醒

U盘海量温湿度存记录,记录时间间隔可设定(选购)

组网集中监控功能(选购)

云端温湿度管理,蓝牙连接,手机上传数据云端,手机上可以查看温湿度运行记录,云端记录可以手机,电脑端时刻查询(选购)

温湿度管理软件(选购)


 

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