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半导体烘箱

简要描述:半导体烘箱适用于对加热中需要氮气保护或对氧含量和洁净度有较高要求的产品及材料在恒温或阶梯温度下进行预热、老化、烘烤、固化、淬火等工艺以及恒温适应性试验。

  • 产品型号:CTCO
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-05-14
  • 访  问  量:391

详细介绍

品牌爱义信产地类别国产
应用领域化工,电子,航天,汽车,电气

半导体烘箱外观结构:  

外壳采用A3冷轧钢板裁剪、打磨、酸洗、磷化等表面防锈处理后烤漆,工作室采用SUS304#洁净不锈钢板满焊、耐高温密封处理  

工作室内百级,采用进口H14耐高温高效过滤器,过滤率0.3μm粒子99.995%以上  

隔热层采用120mm厚100K高密度硅酸铝纤维保温材料,表面温度<45℃  

门框密封采用无氟硅橡胶密封条,耐高温,抗老化  

隔板可调整高度及增减数量  

半导体烘箱风路系统:  

采用密封内循环风路,减少氮气消耗  

采用倒U型风道结构设计,箱内两侧单向水平送风,风道仓内强压送风  

特殊可调导风板设计,保障工作室内送风均匀  

大功率三相异步耐高温长轴马达,不锈钢涡轮扇叶(出厂动平衡调整)结合不锈钢蜗牛壳结构结合两侧不锈钢冲孔风板,风力强劲,送风均匀,平稳,工作噪音<65dB  

温控系统:  

不锈钢无尘加热器,洁净无尘  

PLC+7寸彩色触摸屏,HMI人机交互系统,中文操作界面,全自动程序运行模式,PID智能演算,自动恒温,超温保护,传感器断线保护,断电记忆功能,带氧含量、温度值,工作状态(排氧、维持、加热、电磁阀、及故障等)监控界面、程序设定界面、历史曲线界面、历史数据功能,可通过USB导出数据,搭配PC端温度数据处理软件  

采用导轨式智能AI温度控制模块,控温精度0.1级,自动恒温,智能PID演算,带30段程序升温,带传感器断线警报,AT自整定,超温控制,断电记忆功能,控温准,稳定性好  

高精度PT100不锈钢铠装铂金电阻温度传感器  

安全系统:  

按键锁  

超温保护  

电流过载保护  

漏电保护  

接地保护

规格参数:

设备型号

Model

CTCO-180(A/B)

CTCO-270(A/B)

CTCO-480(A/B)

控温范围

Operating Temp. Range

RT+10~350℃

温度分辨率

Temperature resolution

0.1℃

温度波动度

Control stability

±0.5℃

温度均匀度

Temperature uniformity

±1.5℃(at100℃ 恒温空载状态下)

±2.5℃(at200℃ 恒温空载状态下)

±3.5℃(at300℃ 恒温空载状态下)

±5.0℃(at350℃ 恒温空载状态下)

洁净度

Cleanliness

百级 Class100/  千级 class1000

高效过滤器

HEPA

H14耐高温高效过滤器,过滤率0.3μm粒子99.995%以上

氧含量

Oxygen content

<20ppm

内部尺寸

Chamber size

W600*D500*H600mm

W600*D500*H900mm

W800*D600*H1000mm

外部尺寸

Overall size

W1100*D800*H1400mm

W1100*D800*H1700mm

W1300*D900*H1800mm

容积

Volume

180L

270L

480L

氮气接口

Nitrogen interface

Φ12mm

 

层架

Number of pallets

2-5PCS

电源

Power supply

AC380V 50HZ

功率

Heating power

4500W

5500W

7500W

操作运行模式

Operating Mode

PLC+7寸彩色触摸屏

选配

Optional

φ25mm/φ50mm/φ100mm测试孔  Test hole

独立限温保护器 Independent temperature limiting device

多点温度监控系统 Multi point temperature monitoring

温度校准  Temperature Correcti

提供其它订制服务 Customized servic

 

半导体烘箱使用时的一些注意事项:  
仔细阅读说明书:在使用前,仔细阅读设备的说明书,了解其工作原理、主要参数、操作流程和安全注意事项。熟悉设备的性能和限制,可以帮助用户正确操作烘箱并避免意外发生。  
设备检查与维护:在每次使用之前,检查烘箱的外观和内部是否有损坏或异物。确保温度传感器、加热元件和控制系统等关键部件正常工作。定期清洁和维护烘箱,清除积灰和污垢,确保烘箱内部干净、无尘。  
温度设定和控制:根据产品要求和工艺流程设置适当的温度范围和升降速率。不要超过烘箱的额定温度和温度梯度,以免对烘箱和产品造成损坏。在设定温度后,应仔细监测和控制烘箱的温度变化,确保温度稳定性和精度。  
使用合适的载物架:根据产品特性和尺寸,选择合适的载物架放置产品。确保产品在载物架上均匀分布,不要过度堆积或重叠,以免影响烘烤效果和温度传递。同时,也要注意载物架的质量和材料,避免释放有害气体或颗粒物。  
避免快速升温和冷却:在操作过程中,避免快速升温和突然降温,以免对产品和烘箱产生热应力和机械应力。应根据工艺要求和产品特性,设置适当的升温和冷却速率,保持温度的平稳过渡。  
温度记录和追溯:在烘烤过程中,应记录关键参数,如温度、时间、产品批次等信息。这样可以进行追溯和分析,确保产品质量和工艺的可控性。同时,也有助于发现潜在问题和优化工艺流程。  
安全操作和防护措施:使用时,应穿戴适当的防护装备,如耐热手套、护目镜等。遵守设备使用规范,不要将易燃、易爆物品放入烘箱。在开启和关闭烘箱门时要谨慎,避免热气和高温对人身安全造成伤害。  
紧急情况处理:当遇到烘箱故障或其他紧急情况时,应立即停止使用烘箱,并通知相关维护人员进行检修。不要私自拆卸或修理烘箱,以免加重损坏或导致安全隐患。

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