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晶圆烘箱

简要描述:晶圆烘箱适用于对加热中需要氮气保护或对氧含量和洁净度有较高要求的产品及材料在恒温或阶梯温度下进行预热、老化、烘烤、固化、淬火等工艺以及恒温适应性试验

  • 产品型号:CTCO
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-05-14
  • 访  问  量:403

详细介绍

品牌爱义信加热方式不锈钢无尘加热器
内胆材质镜面不锈钢内胆尺寸W800*D600*H1000mmcm
外形尺寸W1300*D900*H1800mmmm温度波动±0.5℃℃
温度范围RT+10~350℃℃价格区间8千-1.5万
仪器种类精密烘箱产地类别国产
应用领域化工,电子,制药,汽车,电气

晶圆烘箱外观结构:

★外壳采用A3冷轧钢板裁剪、打磨、酸洗、磷化等表面防锈处理后烤漆,工作室采用SUS304#洁净不锈钢板满焊、耐高温密封处理

★工作室内百级,采用进口 H14耐高温高效过滤器,过滤率0.3μm粒子99.995%以上

★隔热层采用120mm厚100K高密度硅酸铝纤维保温材料,表面温度<45℃

★门框密封采用无氟硅橡胶密封条,耐高温,抗老化

★隔板可调整高度及增减数量

晶圆烘箱风路系统:

★采用密封内循环风路,减少氮气消耗

★采用倒U型风道结构设计,箱内两侧单向水平送风,风道仓内强压送风

★特殊可调导风板设计,保障工作室内送风均匀

★大功率三相异步耐高温长轴马达,不锈钢涡轮扇叶(出厂动平衡调整)结合不锈钢蜗牛壳结构结合两侧不锈钢冲孔风板,风力强劲,送风均匀,平稳,工作噪音<65dB

温控系统:

★不锈钢无尘加热器,洁净无尘

PLC+7寸彩色触摸屏,HMI人机交互系统,中文操作界面,全自动程序运行模式, PID智能演算,自动恒温,超温保护,传感器断线保护,断电记忆功能,带氧含量、温度值,工作状态(排氧、维持、加热、电磁阀、及故障等)监控界面、程序设定界面、历史曲线界面、历史数据功能,可通过USB导出数据,搭配PC端温度数据处理软件

采用导轨式智能AI温度控制模块,控温精度0.1级,自动恒温,智能PID演算,带30段程序升温,带传感器断线警报,AT自整定,超温控制,断电记忆功能,控温准,稳定性好

高精度PT100不锈钢铠装铂金电阻温度传感器

安全系统:

★按键锁

★超温保护

★电流过载保护

★漏电保护

★接地保护

规格参数:

设备型号

Model

CTCO-180(A/B)

CTCO-270(A/B)

CTCO-480(A/B)

控温范围

Operating Temp. Range

RT+10~350℃

温度分辨率

Temperature resolution

0.1℃

温度波动度

Control stability

±0.5℃

温度均匀度

Temperature uniformity

±1.5℃(at100℃ 恒温空载状态下)

±2.5℃(at200℃ 恒温空载状态下)

±3.5℃(at300℃ 恒温空载状态下)

±5.0℃(at350℃ 恒温空载状态下)

洁净度

Cleanliness

百级 Class100/  千级 class1000

高效过滤器

HEPA

H14耐高温高效过滤器,过滤率0.3μm粒子99.995%以上

氧含量

Oxygen content

<20ppm

 

晶圆烘箱的维护工作  
清洁工作
在使用过程中,内部会积累灰尘、油污等杂质,这些杂质会影响烘箱的加热效果和温度控制精度。因此,定期进行清洁是非常必要的。清洁工作主要包括以下几个方面:  
(1)定期更换过滤网:过滤网可以有效防止灰尘、杂质进入烘箱内部,影响加热效果。因此,需要定期检查过滤网的清洁程度,如发现过滤网堵塞或破损,应及时更换。  
(2)清洁加热元件:加热元件表面的油污、灰尘会影响其加热效果,因此需要定期对加热元件进行清洁。清洁时可以使用专用清洁剂和软布进行擦拭,避免使用硬物刮伤加热元件表面。  
(3)清洁箱体内部:箱体内部的灰尘、杂质也会影响烘箱的加热效果和温度控制精度。清洁时可以使用吸尘器或者软布进行擦拭,注意不要损坏箱体内部的绝缘材料。  
检查与维修工作  
为了保证正常运行,需要定期对其进行检查与维修。检查与维修工作主要包括以下几个方面:  
(1)检查温度控制系统:温度控制系统是核心部分,需要定期检查其工作状态。检查时可以通过查看温度控制器的显示值和实际值是否一致,以及温度控制器的报警功能是否正常来判断其工作状态。  
(2)检查加热元件:加热元件是主要组成部分,需要定期检查其工作状态。检查时可以通过测量加热元件的电阻值来判断其是否损坏,如发现电阻值异常,应及时更换加热元件。  
(3)检查密封性能:密封性能直接影响到其保温效果和使用寿命。检查时可以通过观察烘箱门的密封条是否完好,以及烘箱内部是否有漏气现象来判断其密封性能。如发现密封性能不良,应及时更换密封条或者修复漏气部位。  
培训与操作规程  
为了保证正常运行和延长其使用寿命,还需要对操作人员进行培训,并制定相应的操作规程。培训内容主要包括基本结构、工作原理、操作方法、维护保养等方面。操作规程应明确规定使用条件、操作步骤、注意事项等内容,以确保操作人员能够正确、安全地使用。

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