18930917376
产品中心
相关文章ARTICLES
详细介绍
| 品牌 | 爱义信 | 加热方式 | 不锈钢无尘加热器 |
|---|---|---|---|
| 内胆材质 | 镜面不锈钢 | 内胆尺寸 | W800*D600*H1000mmcm |
| 外形尺寸 | W1300*D900*H1800mmmm | 温度波动 | ±0.5℃℃ |
| 温度范围 | RT+10~350℃℃ | 价格区间 | 8千-1.5万 |
| 仪器种类 | 精密烘箱 | 产地类别 | 国产 |
| 应用领域 | 化工,电子,制药,汽车,电气 |
晶圆烘箱外观结构：
★外壳采用A3冷轧钢板裁剪、打磨、酸洗、磷化等表面防锈处理后烤漆，工作室采用SUS304#洁净不锈钢板满焊、耐高温密封处理
★工作室内百级，采用进口 H14耐高温高效过滤器，过滤率0.3μm粒子99.995％以上
★隔热层采用120mm厚100K高密度硅酸铝纤维保温材料，表面温度＜45℃
★门框密封采用无氟硅橡胶密封条，耐高温，抗老化
★隔板可调整高度及增减数量
晶圆烘箱风路系统：
★采用密封内循环风路，减少氮气消耗
★采用倒U型风道结构设计，箱内两侧单向水平送风，风道仓内强压送风
★特殊可调导风板设计，保障工作室内送风均匀
★大功率三相异步耐高温长轴马达，不锈钢涡轮扇叶（出厂动平衡调整）结合不锈钢蜗牛壳结构结合两侧不锈钢冲孔风板，风力强劲，送风均匀，平稳，工作噪音<65dB
温控系统：
★不锈钢无尘加热器，洁净无尘
★PLC+7寸彩色触摸屏，HMI人机交互系统，中文操作界面，全自动程序运行模式， PID智能演算，自动恒温，超温保护，传感器断线保护，断电记忆功能，带氧含量、温度值，工作状态（排氧、维持、加热、电磁阀、及故障等）监控界面、程序设定界面、历史曲线界面、历史数据功能，可通过USB导出数据，搭配PC端温度数据处理软件
★采用导轨式智能AI温度控制模块，控温精度0.1级，自动恒温，智能PID演算，带30段程序升温，带传感器断线警报，AT自整定，超温控制，断电记忆功能，控温准，稳定性好
★高精度PT100不锈钢铠装铂金电阻温度传感器
安全系统：
★按键锁
★超温保护
★电流过载保护
★漏电保护
★接地保护
规格参数：
| 设备型号 Model | CTCO-180(A/B) | CTCO-270(A/B) | CTCO-480(A/B) |
| 控温范围 Operating Temp. Range | RT+10~350℃ | ||
| 温度分辨率 Temperature resolution | 0.1℃ | ||
| 温度波动度 Control stability | ±0.5℃ | ||
| 温度均匀度 Temperature uniformity | ±1.5℃（ａｔ100℃ 恒温空载状态下） ±2.5℃（ａｔ200℃ 恒温空载状态下） ±3.5℃（ａｔ300℃ 恒温空载状态下） ±5.0℃（ａｔ350℃ 恒温空载状态下） | ||
| 洁净度 Cleanliness | 百级 Class100/ 千级 class1000 | ||
| 高效过滤器 HEPA | H14耐高温高效过滤器，过滤率0.3μm粒子99.995％以上 | ||
| 氧含量 Oxygen content | <20ppm | ||
产品咨询
关注微信